DG-FB系列高頻等離子體炬直流電源
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| 產品特點 |
系統的抗干擾性強 故障保護時間<5μS 紋波小,效率高 系列化、標準化 內部集成高頻引弧電源 |
| 應用范圍 | 應用于半導體生產工藝廢氣裂解、等離子噴涂等 |
| 技術參數 |
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DG-FB系列高頻等離子體炬直流電源
| 產品特點 |
系統的抗干擾性強 故障保護時間<5μS 紋波小,效率高 系列化、標準化 內部集成高頻引弧電源 |
| 應用范圍 | 應用于半導體生產工藝廢氣裂解、等離子噴涂等 |
| 技術參數 |
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