真空等離子體處理系統
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| 產品介紹 |
等離子體表面處理系統是通過系統產生等離子體,利用等離子體中的電子、離子和活性基團的作用,改變材料表層的物理和化學結構,達到材料表面清洗、刻蝕、接枝、涂覆等目的,從而實現材料表面的功能化。根據應用場景和實現功能不同,可以提供各種類型的等離子體表面處理系統。真空等離子體表面處理系統,主要包括真空腔體及真空系統,等離子體發生器、等離子體電源及測量與控制系統。 |
| 設備尺寸 |
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| 產品特點 |
智能化、全自動控制系統,操作簡便,具有數據記錄和分析功能。 可同時存儲多組配方,方便工藝調用。 全過程工藝可控,可在線設置、修改、監控各種工藝參數。 性能可靠,良好的互鎖、故障報警和實時監控功能。 等離子體均勻好,兼具遠程和浸沒式等離子體模式,滿足廣泛應用需求。 |