電子束蒸發鍍膜系統
電子束蒸發鍍膜系統
CPT-EB-600ZD-A
等離子體能變換及管理系統
金屹等離子
所屬公司：
由安徽省金屹等離子體電源科技有限公司出品
| 產品介紹 |
納米器件，有機光電器件的金屬電極，以及用于生長納米材料催化劑薄膜層的制備。 |
| 系統簡介 |
該系統配置多坩堝電子束蒸發源，同時選擇搭配多組電阻蒸發源，在高真空條件下，利用電子束準確地轟擊坩堝內靶材,使靶材融化蒸發，進而沉積在基片，上,在基底上凝結形成薄膜，可在基片蒸發沉積金屬、半導體或介質材料，應用于高校、科研院所制備光學薄膜、導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜等，以及企業的小批量生產。 |
| 產品特點 |
專用的樣品夾具，安裝方便快捷，提高實驗效率、可靠性。 設備性能穩定，可為待蒸發的物質提供更高的熱量，蒸鍍速率更快。 可提供成熟的工藝參考，助理研究效率。 電子束定位精準，可有效避免坩堝材料的蒸發和污染。 PLC觸摸屏控制，操控方便，結構緊湊，點地面積小。 |
| 設備參數 | 真空室尺寸 | 極限真空度 |
| Φ600*H750mm | 5.0×10-5Pa | |
| 抽真空時間 | 真空泵 | |
| 連續30min內,≤8.0×10-4Pa | 機械泵+分子泵 | |
| 電子槍 | 電阻蒸發 | |
| 6穴坩堝電子槍，8.0kVA | 3對電極，2.0kW | |
| 基片臺尺寸 | 加熱控制 | |
| Φ30-100mm | 真空專用加熱器，最高加熱溫度500℃ | |
| 膜厚控制 | 備注 | |
| 膜厚測量系統 | 可根據客戶需求定制設計 |
